平板顯示產(chǎn)業(yè)也是高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。?平板顯示器主要包括液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)等,以及在?LCD?基礎(chǔ)上發(fā)展起來的觸控(TP)顯示產(chǎn)品。鍍膜是現(xiàn)代平板顯示產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)環(huán)節(jié),幾乎所有類型的平板顯示器件都會使用大量的鍍膜材料來形成各類功能薄膜,其所使用的?PVD?鍍膜材料主要為濺射靶材。
平面顯示面板的生產(chǎn)工藝中,屏顯玻璃基板要經(jīng)多次濺射鍍膜形成 ITO 玻璃,然后再經(jīng)過鍍膜、加工組裝用于生產(chǎn) LCD面板、 PDP 面板及 OLED 面板等。對于觸控屏,則還需將 ITO 玻璃進(jìn)行加工處理、經(jīng)過鍍膜形成電極,再與防護(hù)屏等部件組裝加工而成。此外,為了實(shí)現(xiàn)平板顯示產(chǎn)品的抗反射、消影等功能,還可以在鍍膜環(huán)節(jié)中增加相應(yīng)膜層的鍍膜。